1930 年代以前は、基本的にドイツとフランスだけが酸素発生器を製造できました。当時、酸素発生器（可変圧力吸着式酸素発生器）は、化学工業に必要な酸素と窒素の製造装置を溶接および切断するというニーズを満たすことしかできませんでした。酸素発生器の生産は主に中小規模で、容量は 2m3/h から 600m3/h で、約 200 種類ありました。の酸素発生器使用されるプロセスは、高圧および中圧プロセスです。
1930 年から 1950 年にかけて、ドイツとフランスに加えて、ソビエト連邦、日本、米国、英国などの国も酸素発生器の生産を開始しました。この間、生産の発展とともに酸素発生器（可変圧力吸着式酸素発生器）の応用分野が拡大し、大型酸素発生器の開発が進められました。大型酸素発生器で 1 m3 の酸素を生成するのに必要な電力と金属材料は、小型および中型酸素発生器のそれらよりも高かったため、大型酸素発生器の種類は 1930 年から 1950 年にかけてさらに増加し​​、たとえば 5000 m3/h でした。西ドイツ、ソ連で 3600 m3/h、日本で 3000 m3/h。当時使用されていたプロセスは、高圧および中圧に加えて、高圧および低圧プロセスを使用し始めました。1932 年、ドイツは冶金およびアンモニア産業で初めて酸素発生器を使用しました。
1950年以降、上記の国で生産された酸素発生器（可変圧吸着式酸素発生器）のほか、中国、チェコ、東ドイツ、ハンガリー、イタリアなどがある（中国は開発が遅れており、いずれも深冷）。
鉄鋼業、窒素肥料産業、ロケット技術の発展により、酸素と窒素の消費量が急速に増加し、酸素発生器の大規模な開発が促進されました。1957年以降、1万m3/hの酸素発生装置が次々と導入されました。1967 年以来、不完全な統計によると、20,000 m3/h を超える 87 の大型酸素発生器があり、より大きなユニットは 50,000 m3/h であり、より大きなユニットは開発中です。
過去20年間で、製品の範囲は急速に拡大し、徐々にシリーズを形成しました。たとえば、西ドイツ リンデの大型酸素発生器には 1000 ～ 40000m3/h の典型的な製品があります。日本のコベルコにはOFシリーズがあります。日本日立はすべてのTOモデルを製造しています。日本酸素にはNRタイプがあります。英国には 50 ～ 1500 トン / 日シリーズの製品があります。同時に、大型の酸素発生器は基本的に完全な低圧プロセスを使用します。
要するに、酸素発生器（可変圧力吸着酸素発生器）の開発は不完全なプロセスであり、機器は中小規模から大規模に発展しました。プロセスは、高圧 (200 気圧)、中圧 (50 気圧)、高低圧から完全低圧 (6 気圧) に発展し、酸素発生器の単位電力消費量と金属材料消費量を削減し、操作を拡張しました。サイクル。